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J-GLOBAL ID：200902123687735109   Reference number：01A0627499

Mechanical properties of thin films measured by nanoindenters.

ナノ押込圧子により測定した薄膜の機械的性質

Author (3)： ISHIKAWA H (Machinery and Metallurgy Res. Inst. Chiba Prefecture, Chiba, JPN) ,  FUDETANI S (Chiba Univ., Chiba, JPN) ,  HIROHASHI M (Chiba Univ., Chiba, JPN)
Material： Applied Surface Science  (Appl Surf Sci)
Volume： 178  Issue： 1/4  Page： 56-62  Publication year： Jul. 02, 2001 
JST Material Number： B0707B  ISSN： 0169-4332  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *indentation hardness ,...
Semi thesaurus term： SUS310

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JST classification (3)： Mechanical properties of solids in general  (BL01021C) ,  Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Ceramic coating to metallic materials  (YC02050V)

Terms in the title (4)： ナノ押込 ,  圧子 ,  薄膜 ,  機械的性質