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J-GLOBAL ID：200902124343496560   Reference number：01A0256074

Cutting of Functional Material by Plasma CVM. Development of the Cutting Machine with Inner Blade Electrode and Its Cutting Characteristics.

プラズマCVMによる機能材料の切断加工 内周刃型切断加工装置の試作とその切断加工特性

Author (4)： MORI YUZO (大阪大 大学院工学研究科) ,  YAMAUCHI KAZUTO (大阪大 大学院工学研究科) ,  YAMAMURA KAZUYA (大阪大 大学院工学研究科) ,  SANO YASUHISA (大阪大 大学院工学研究科)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 67  Issue： 2  Page： 295-299  Publication year： Feb. 05, 2001 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *functional material ,...
Semi thesaurus term： プラズマCVM

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JST classification (1)： Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Reference (6)：

• 高野幸男. エレクトロニクス用結晶材料の精密加工技術. 1985, 610
• 諏訪部仁. 硬脆材料の高能率・高精度スライシング加工. 1995, 222
• MORI, Y. Plasma CVM (Chemical Vaporization Machining) : An Ultra Precision Machining Technique Using High-pressure Reactive Plasma. Nanotechnology. 1993, 4, 225
• 森勇藏. プラズマCVMの開発. 精密工学会誌. 2000, 66, 8, 1280
• 森勇藏. プテズマCVM法による集積型a-Si太陽電池のパターニングに関する研究(I). 1995年春季第42回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. 1995, 850

Terms in the title (7)： プラズマCVM ,  機能材料 ,  切断加工 ,  内周刃 ,  切断加工装置 ,  試作 ,  加工特性