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J-GLOBAL ID：200902128041566866   Reference number：00A0195607

Fast Surface Profiling by White-Light Interferometry Using a Sampling Theorem for Band-Pass Signals.

帯域通過型標本化定理を用いた白色光干渉による表面凹凸形状の高速測定

Author (5)： HIRABAYASHI AKIRA (東京工大 大学院) ,  OGAWA HIDEMITSU (東京工大 大学院) ,  MIZUTANI TATSUYA (東京工大 大学院) ,  NAGAI KEN (松下電器産業) ,  KITAGAWA KATSUICHI (東レ)
Material： 計測自動制御学会論文集  (Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers)
Volume： 36  Issue： 1  Page： 16-25  Publication year： Jan. 30, 2000 
JST Material Number： S0104A  ISSN： 0453-4654  CODEN： KJSRA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *shape measurement ,...

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JST classification (2)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Interferometry and interferometers  (BD07070G)

Reference (6)：

• BALASUBRAMANIAN, N. Optical system for surface topography measurement. 1982
• 日本機械学会. 超精密形状計測技術. 1996
• CABER, P. J. Interferometric profiler for rough surfaces. Appl.Opt. 1993, 32-19, 3438-3441
• 堀健夫. 光学[I]. 1952
• MARKS, R. J. Introduction to Shannon Sampling and Interpolation Theory. 1991

Terms in the title (5)： 帯域 ,  標本化定理 ,  白色 ,  光干渉 ,  凹凸形状