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J-GLOBAL ID：200902130391107540   Reference number：02A0521580

Laser Deposition of (Sr,Ba)TiO₃ Films with Metal-Ethylenediaminetetraacetic Acid Complexes.

金属-エチレンジアミン四酢酸錯体を用いた(Sr,Ba)TiO₃膜のレーザ蒸着

Author (5)： NAKAMURA A (Chubu Chelest Co., Ltd., Mie, JPN) ,  SATOH R (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN) ,  OHSHIO S (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN) ,  NAMBU N (Chubu Chelest Co., Ltd., Mie, JPN) ,  SAITOH H (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 41  Issue： 5A  Page： 3033-3038  Publication year： May. 15, 2002 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *titanate ,...

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Substance index (1)： EDTA

Reference (5)：

• 1) Y. Kato and N. Kasai: Oyo Buturi 67 (1998) 1239 [in Japanese].
• 2) N. Tanaka, H. Wakabayashi, Y. Takata, S. Ohshio, H. Saitoh and K. Uematsu: Mater. Res. Innovat. 2 (1998) 39.
• 3) N. Tanaka, S. Ohshio, H. Saitoh and K. Uematsu: Jpn. J. Appl. Phys. 37 (1998) L1165.
• 4) N. Tanaka, H. Wakabayashi, S. Mochizuki, S. Ohshio and H. Saitoh: J. Mater. Res. 13 (1998) 2775.
• 5) J. Pena, A. Martinez, F. Conde, J. M. Gonzalez-Calbet and M. Vallet-Regi: Solid State Ionics 101-103 (1997) 183.

Terms in the title (5)： エチレンジアミン四酢酸 ,  錯体 ,  Sr ,  Ba ,  レーザ蒸着