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J-GLOBAL ID：200902130408208818   Reference number：99A0795871

Analysis of adhesion behavior of micro resist pattern by direct collapse method with atomic force microscope tip.

原子間力顕微鏡チップでの直接崩壊法によるマイクロレジストパターンの接着挙動の解析

Author (1)： KAWAI A (Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 3677  Issue： Pt.2  Page： 565-573  Publication year： 1999 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (6)： 原子間力顕微鏡 ,  崩壊 ,  マイクロ ,  レジストパターン ,  挙動 ,  解析