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J-GLOBAL ID：200902137704924124   Reference number：00A0873491

Residual Stress Measurement in DLC films by Raman Spectroscopy.

ラマン分光法によるDLC膜の残留応力測定

Author (4)： MIKI YASUHIRO (奈良県工技セ) ,  TANIGUCHI TADASHI (奈良県工技セ) ,  YAMAUCHI NAOHIKO (大阪府産業技総研) ,  SONE TAKUMI (大阪府産業技総研)
Material： X線材料強度に関するシンポジウム講演論文集  (Proceedings of the Symposium on X-Ray Studies on Mechanical Behaviour of Materials)
Volume： 36th  Page： 180-183  Publication year： Sep. 07, 2000 
JST Material Number： F0605B  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *DLC film ,...

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JST classification (2)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Other materials  (HC02050E)

Terms in the title (4)： ラマン分光法 ,  DLC膜 ,  残留 ,  応力測定