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J-GLOBAL ID：200902138391050370   Reference number：00A0992487

機上計測用縦型超精密触針式形状測定プローブの開発

Author (8)： MORIYASU AKIRA (理研) ,  MORITA SHIN'YA (理研) ,  YAMAGATA YUTAKA (理研) ,  RIN IMIN (理研) ,  OMORI OSAMU (理研) ,  MAKINOUCHI AKITAKE (理研) ,  KATO JUN'ICHI (理研) ,  YAMAGUCHI ICHIRO (理研)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2000  Issue： 春季  Page： 578  Publication year： Mar. 22, 2000 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Reference (3)：

• 守安. 機上計測用高精度小型触針式形状測定センサの開発. 1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1999, 196
• 守安. 機上計測用小型触針式形状測定プローブの特性評価. 1999年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 1999, 330
• SHIOZAWA, H. Development of an Ultra-Precision 3D-CMM with the Repeatability of Nanometer Order. Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, 360-365

Terms in the title (6)： 機上計測 ,  縦型 ,  超精密 ,  触針 ,  測定プローブ ,  開発