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J-GLOBAL ID：200902138626272693   Reference number：97A0857113

Preparation of Magnesia Stabilized Zirconia Thin Films for Solid Oxide Fuel Cell by Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition.

マイクロ波プラズマ化学気相成長による燃料電池用マグネシア安定化ジルコニア薄膜の作製

Author (5)： OKAYAMA HIDEO (大阪工大 工) ,  KUBO TSUKASA (大阪工大 工) ,  MOCHIZUKI NORITAKA (大阪工大 工) ,  NAGATA AKIYOSHI (大阪工大 工) ,  ISA HIROMU (大阪工大 工)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 40  Issue： 8  Page： 660-663  Publication year： Aug. 1997 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *plasma CVD ,...
Semi thesaurus term： *solid fuel cell

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JST classification (2)： Fuel cells  (YB04040V) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (6)：

• 電気学会燃料電池運転性調査専門委員会. 燃料電池発電. 1994
• 伊藤. 日本セラミックス協会学術論文誌. 1989, 97[10], 1077-1081
• 岡山. 電気学会論文誌B. 1996, 116, 12, 1549-1554
• 岡山. 電気学会プラズマ研究会資料. 1996, EP-96-17
• 岡山. 電気学会論文誌A. 1996, 116-A, 4, 380-381

Terms in the title (8)： マイクロ波プラズマ ,  化学気相成長 ,  燃料電池 ,  マグネシア ,  安定化 ,  ジルコニア ,  薄膜 ,  作製