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J-GLOBAL ID：200902140384521612   Reference number：00A0152494

Characteristics of Lead Titanate Film Made by RF Magnetron Sputter Deposition Method.

RFマグネトロンスパッタ法で成膜したチタン酸鉛(PbTiO₃)の特性

Author (6)： MISU KOICHIRO (三菱電機) ,  NAGATSUKA TSUTOMU (三菱電機) ,  WADAKA SHUZO (三菱電機) ,  YAMADA AKIRA (三菱電機) ,  MAEDA CHISAKO (三菱電機) ,  TAJIME TOORU (三菱電機)
Material： 電子情報通信学会論文誌 C-1  (Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-1)
Volume： J82-C-1  Issue： 12  Page： 769-776  Publication year： Dec. 25, 1999 
JST Material Number： S0623B  ISSN： 0915-1893  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： RF sputtering ,...
Semi thesaurus term： electromechanical coupling factor

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JST classification (2)： Piezoelectric devices  (NC03110I) ,  Piezoelectricity,pyroelectricity,electret  (BM05040M)

Reference (15)：

• LAKIN, K. M. UHF composite bulk wave resonator. 1980 IEEE US Symp. Proc. 1980, 834-837
• GRUDKOWSKI, T. W. Fundamental mode VHF/UHF Bulk acoustic wave resonators and filters on silicon. 1980 IEEE US Symp. Proc. 1980, 829-833
• NAKAMURA, K. ZnO/SiO_2-Diaphragm composite resonator on a silicon wafer. Electron. Lett. 1981, 17, 507-508
• 中村僖良. 異方性エッチSi基板を用いたZnO膜低次オーバートーン厚み共振子. 日本音響学会講演論文集. 1980, 127-128
• 楢原長次. 空隙型圧電薄膜共振子を用いた超小型発振器. 昭62信学総全大. 1-92

Terms in the title (3)： RFマグネトロンスパッタ法 ,  成膜 ,  チタン酸鉛