Art

J-GLOBAL ID：200902141285012052   Reference number：02A0435875

Phase Control of Bi₂Sr₂Ca_n-1Cu_nO_y Sputtered Films using He Gas.

Heガスを用いたBi₂Sr₂Ca_n-1Cu_nO_yスパッタ薄膜の組成制御

Author (8)： MATSUMOTO KOSUKE (鳥取大 工) ,  OGURA MITSURU (鳥取大 工) ,  KATSURAHARA KOJI (鳥取大 工) ,  KISHIDA SATORU (鳥取大 工) ,  MIZUTANI TAKESHI (物質・材料研究機構 物質研) ,  YOSHIKAWA HIDEKI (物質・材料研究機構 物質研) ,  FUKUSHIMA SEI (物質・材料研究機構 物質研) ,  TOKUTAKA HEIZO (鳥取大 工)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 45  Issue： 3  Page： 297-300  Publication year： Mar. 20, 2002 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *high temperature superconductor ,...
Semi thesaurus term： BSCCO

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JST classification (2)： Properties of oxide superconductors  (BM04023I) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (6)：

• NAGAMATSU, J. Nature. 2001, 410, 63
• SCHOEN, J. H. Science express. 2001
• HARADA, K. Jpn. J. Appl. Phys. 1996, 35, 3590
• HARADA, K. Jpn. J. Appl. Phys. 1996, 35, 4297
• AKIMITSU, J. Jpn. J. Appl. Phys. 1987, 26, L2080

Terms in the title (4)： He ,  スパッタ ,  薄膜 ,  組成制御