Art

J-GLOBAL ID：200902141569942653   Reference number：01A0264662

Operational parameter effects on inverter plasma performance.

インバータプラズマの性能に及ぼす動作バラメータの影響

Author (5)： TAKECHI S (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SUGIMOTO S (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  KIUCHI M (Osaka National Res. Inst., Osaka, JPN) ,  TANAKA K (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  GOTO S (Osaka Univ., Osaka, JPN)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 136  Issue： 1/3  Page： 69-72  Publication year： Feb. 02, 2001 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *plasma source ,...
Semi thesaurus term： inverter

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A0264662&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0205C") }}

JST classification (1)： Plasma devices  (BJ02082I)

Terms in the title (3)： インバータ ,  プラズマ ,  バラ