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J-GLOBAL ID：200902142781143864   Reference number：02A0296592

Atomistic Analysis and Electronical Interpretation of Surface Atom Removal Process in Elastic Emission Machining.

Elastic Emission Machiningにおける表面原子除去過程の解析とその機構の電子論的な解釈

Author (6)： YAMAUCHI KAZUTO (大阪大 大学院工学研究科) ,  INAGAKI KOJI (大阪大 大学院工学研究科) ,  MIMURA HIDEKAZU (大阪大 大学院工学研究科) ,  SUGIYAMA KAZUHISA (高知工高専) ,  HIROSE KIKUJI (大阪大 大学院工学研究科) ,  MORI YUZO (大阪大 大学院工学研究科)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 68  Issue： 3  Page： 456-460  Publication year： Mar. 05, 2002 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： silicon ,...
Semi thesaurus term： Elastic Emission Machining

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JST classification (2)： Special machining  (QC04000Y) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (13)：

• 森勇藏. 極限精密加工技術. 精密工学会誌. 1991, 57, 1, 36
• 山内和人. SPV(Surface Photo-voltage)スペクトロスコピーによる超精密加工表面評価法の開発. 精密工学会誌. 1999, 66, 4, 630
• MORI, Y. Activities on Perfect Surfaces in Osaka University, Ultra Precision Machining Research Center. JSPE Publication Series 3, Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, iii
• MORI, Y. Development of Numerically Controlled EEM (Elastic Emission Machining)System for Ultraprecision Figuring and Smoothing of Aspherical Surfaces, Ultra Precision Machining Research Center. JSPE Publication Series 3, Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, 207
• YAMAUCHI, K. First-principles simulations of removal process in EEM (Elastic Emission Machining). Computational Material Science. 1999, 14, 232

Terms in the title (4)： 原子 ,  除去過程 ,  解析 ,  電子論