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J-GLOBAL ID：200902144640622338   Reference number：01A0198119

Optical properties of amorphous carbon nitride synthesized on Si by ECR-CVD.

けい素上にECR-CVDにより合成した非晶質窒化炭素の光学的性質

Author (5)： LIU X W (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  TSENG C H (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  LIN J H (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  CHAO L T (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  SHIH H C (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 135  Issue： 2/3  Page： 184-187  Publication year： Jan. 15, 2001 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *carbon compound ,...
Semi thesaurus term： 非晶質窒化炭素 ,...

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JST classification (3)： Optical properties of condensed matter in general  (BM08010A) ,  Electronic structure of crystalline semiconductors  (BM02060N) ,  Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Substance index (1)： Acetylene

Terms in the title (5)： けい素 ,  CVD ,  非晶質 ,  窒化炭素 ,  光学的性質