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J-GLOBAL ID：200902146328712446   Reference number：01A0256065

Development of a Micro Profile Measurement System Using Vibroscanning Method.

バイブロスキャニング法を用いた微細形状測定システムの開発

Author (3)： YAMAMOTO MASAKI (松下技研) ,  YAMAGUCHI KEISAKU (松下技研) ,  AOKI SHIN'ICHIRO (松下技研)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 67  Issue： 2  Page： 251-255  Publication year： Feb. 05, 2001 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *fine patterning ,...
Semi thesaurus term： バイブロスキャンイング

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (6)：

• MASUZAWA, T. Vibroscaning Method for Nondestructive Measurement of Small Holes. Ann. CIRP. 1993, 42, 589
• 山本正樹. バイブロスキャニング法の微細放電加工機への実装検討. 1995年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1995, 961
• KUIJPER, M. P. C. Profile Measurement of Micro-EDM Holes with 3D Vibroscanning Method. 電気加工技術. 1995, 19, 61, 1
• 山本正樹. バイブロスキャン微細穴形状測定装置の開発. 1998年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1995, 185
• 谷村尚. 微細形彫放電加工によるマイクロ部品形状測定用探針の製作. 精密工学会誌. 1999, 65, 9, 1296

Terms in the title (3)： 微細 ,  形状測定システム ,  開発