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J-GLOBAL ID：200902150756829460   Reference number：95A0571413

H^∞ Control for Positioning of XY Stage.

H^∞制御によるXYステージの位置決め制御

Author (3)： SATO MIKIO (キャノン) ,  WAKUI SHINJI (キャノン) ,  HARA SHINJI (東京工大)
Material： システム/制御/情報  (システム制御情報学会誌)
Volume： 39  Issue： 6  Page： 254-257  Publication year： Jun. 1995 
JST Material Number： G0902A  ISSN： 0916-1600  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： position control ,...

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JST classification (2)： System design and analysis  (IA02030D) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (4)：

• 崎野. 高速・高精度位置決めステージの開発. 日本機械学会第69期通常総会講演会論文集. 1992, C, 920-17, 542-544
• D. McFarlane. Robust Controller Design Using Normalized Coprime Factor Plant Descriptions. Lecture Notes in Control and Information Sciences. 1990, 138
• 原. ロバストサーボ設計法. SICEサマーセミナー'92テキスト. 1992, 55-67
• 佐藤. H^∽制御によるXYステージの位置決め制御. 第2回制御理論応用シンポジウム資料. 1994, 53-58

Terms in the title (3)： H∞制御 ,  XYステージ ,  位置決め制御