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J-GLOBAL ID：200902152049407684   Reference number：01A0404130

Variation in Preferred Orientations of TiN Thin Films Prepared by Ion Beam Assisted Deposition.

イオンビーム支援堆積法で作製したTiN薄膜の優先配向の変化

Author (6)： MATSUMURO A (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  HAYASHI T (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  MURAMATSU M (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TAKAHASHI Y (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  KOHZAKI M (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  YAMAGUCHI K (Mie Univ., Tsu, JPN)
Material： Materials Science Research International  (材料別冊増刊)
Volume： 7  Issue： 1  Page： 1-6  Publication year： Mar. 15, 2001 
JST Material Number： L2329A  ISSN： 1341-1683  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *ion beam deposition ,...

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JST classification (1)： Metallic thin films  (BK14030T)

Reference (15)：

• YAMAGUCHI, T. J. Appl. Phys. 1995, 78, 2385
• GRIGOROV, G. I. Appl. Phys. A, Soli. Surf. 1993, 57, 195
• GIVENS, J. H. Surf. Coat. Technol. 1992, 54-55, 78
• NISHIMURA, I. The Journal of the Surface Finishing Society of Japan. 1992, 43, 78
• REISSE, G. Appl. Surf. Sci. 1996, 106, 268

Terms in the title (4)： イオンビーム支援堆積 ,  作製 ,  TiN薄膜 ,  優先配向