Art

J-GLOBAL ID：200902152242441474   Reference number：97A0413549

Fabrication and Transformation Characteristics of Reversible Shape Memory Alloy Thin Film Actuators.

可逆形状記憶合金薄膜アクチュエータの試作と変態特性

Author (4)： KURIBAYASHI KATSUTOSHI (山口大 工) ,  SHIMIZU SEIJI (山口大 工) ,  YOSHITAKE MASAAKI (大阪府産業技総研) ,  OGAWA SOICHI (大阪府産業技総研)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 63  Issue： 4  Page： 530-534  Publication year： Apr. 1997 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： reversible change ,...

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JST classification (2)： Control equipment in general  (IC02010N) ,  Other metallography  (WB01040Y)

Reference (14)：

• KURIBAYASHI, K. A New Actuator of a Joint Mechanism Using TiNi Alloy Wire. Int. J. Robotics Res. 1986, 4, 4, 47
• BUSCH, J. D. Prototype Micro-valve Actuator. Proc. IEEE Micro Electro Mech. Syst. 1990, 40
• KURIBAYASHI, K. Reversible SMA Actuator for Micon Sized Robot. Proc. IEEE Micro Electro Mech. Syst. 1990, 217
• WALKER, J. A. Thin-Film Processing of TiNi Shape Memory Alloy. Sensors and Actuators. 1990, A21, 243
• IKUTA, K. Shape Memory Alloy Thin Film Fabricated by Laser Ablation. Proc. IEEE Micro Electro Mech. Syst. 1994, 355

Terms in the title (3)： 形状記憶合金薄膜アクチュエータ ,  試作 ,  変態