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J-GLOBAL ID：200902157088567879   Reference number：00A0992311

薄膜金属ガラスを用いた微細構造物の製作 (第2報) Pd基薄膜金属ガラスの成膜とその微細加工

Author (4)： HATA SEIICHI (東京工大 精密工研) ,  WADA KOICHI (アドバンテスト研) ,  SATO KAIJI (東京工大 大学院 総合理工学研究科) ,  SHIMOKAWABE AKIRA (東京工大 精密工研)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2000  Issue： 春季  Page： 401  Publication year： Mar. 22, 2000 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Reference (3)：

• 秦. 1999年度精密工学会秋季講論集. 1999, 118
• DORN, L. Untersuchungen zur Universalharteprufung im Mikrobereich. 1998, 136-137
• HEERMANT, C. 材料試験技術. 1998, 43,2, 72-76

Terms in the title (7)： 薄膜金属 ,  ガラス ,  微細構造物 ,  製作 ,  Pd基 ,  成膜 ,  微細加工