Art

J-GLOBAL ID：200902158021049713   Reference number：98A0566717

Properties of MSZ Thin Films for SOFC Grown by PECVD.

プラズマ化学気相成長法による燃料電池用固体電解質薄膜の特性

Author (5)： NAGATA AKIYOSHI (大阪工大 工) ,  MOCHIZUKI NORITAKA (大阪工大 工) ,  TATSU TOMOAKI (大阪工大 工) ,  OKAYAMA HIDEO (大阪工大 工) ,  ISA HIROMU (大阪工大 工)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 41  Issue： 3  Page： 186-189  Publication year： Mar. 1998 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *zirconium oxide ,...
Semi thesaurus term： solid fuel cell

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=98A0566717&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0194A") }}

JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Fuel cells  (YB04040V)

Reference (5)：

• 燃料電池発電システム編集委員会編. 燃料電池発電システム
• 岡山. 電気学会論文誌A. 1966, 116-A, 4, 380-381
• 望月. 平成9年電気学会全国大会講演論文集. 1997, 2-260
• 岡山. 真空. 1997, 40, 8, 660-663
• 岡山. 電気学会プラズマ研究会資料. 1996, EP-96-17

Terms in the title (4)： プラズマ化学気相成長法 ,  燃料電池 ,  固体電解質 ,  薄膜