Art

J-GLOBAL ID：200902158611222585   Reference number：99A0667405

Low temperature epitaxial growth of ZnO layer by plasma-assisted epitaxy.

プラズマ支援エピタクシーによるZnO層の低温エピタキシャル成長

Author (4)： YAMAUCHI S (Ibaraki Univ., Hitachi, JPN) ,  HANDA H (Ibaraki Univ., Hitachi, JPN) ,  NAGAYAMA A (Ibaraki Univ., Hitachi, JPN) ,  HARIU T (Ibaraki Univ., Hitachi, JPN)
Material： Thin Solid Films
Volume： 345  Issue： 1  Page： 12-17  Publication year： May. 07, 1999 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *epitaxy ,...
Semi thesaurus term： plasma deposition

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (6)： プラズマ ,  支援 ,  エピタクシー ,  ZnO ,  低温 ,  エピタキシャル成長