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J-GLOBAL ID：200902158678310551   Reference number：02A0356035

Formation of Surface Oxide Layer on CdTe and Reduction of Surface Leakage Current by Inductively Coupled O₂ Plasma Treatment.

誘導結合型酸素プラズマ処理によるCdTe表面酸化層の形成と表面リーク電流低減効果

Author (5)： HIGA AKIRA (琉球大 工) ,  MIURA TATSUHIKO (琉球大 工) ,  MAEHAMA TAKEHIRO (琉球大 工) ,  ONO RYOICHI (アクロラド) ,  TOGUCHI MINORU (琉球大 工)
Material： 電子情報通信学会論文誌 C  (IEICE Transactions on Electronics (Japanese Edition))
Volume： J85-C  Issue： 4  Page： 285-292  Publication year： Apr. 01, 2002 
JST Material Number： S0623C  ISSN： 1345-2827  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *cadmium telluride ,...

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JST classification (2)： Materials of solid-state devices  (NC03020K) ,  Radiation detection and detectors  (AD08020J)

Reference (10)：

• EISEN, Y. CdTe and CdZnTe materials for room-temperature X-ray and gamma ray detectors. J. Cryst. Growth. 1998, 184/185, 1302-1312
• NIRAULA, M. Performance of CdTe gamma-ray detectors fabricated in a new M-π-n design. J. Cryst. Growth. 2000, 214/215, 1116-1120
• OZAKI, T. Thermal treatment of CdTe surfaces for radiation detectors. Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. A. 1996, 380, 141-144
• 浅野浩司. エキシマレーザードーピング法によるp-i-nCdTeダイオードの作製. 信学技報. 2001, ED2001-14
• IVANOV, V. I. The influence of the M-π-n structure on CdTe X-ray detector performance. IEEE Trans. Nucl. Sci. 1998, 45, 3, 390-393

Terms in the title (6)： 誘導結合 ,  酸素プラズマ ,  CdTe ,  表面酸化 ,  リーク電流 ,  低減効果