Art

J-GLOBAL ID：200902158778113591   Reference number：01A0620247

Characteristics of Nucleation Using the Bias-Enhanced Nucleation Method at Low Pressure.

低圧におけるバイアス促進核形成法を利用した核形成の特性

Author (4)： KUDO K (Fukuoka Inst. Technol., Fukuoka, JPN) ,  AOKI K (Fukuoka Inst. Technol., Fukuoka, JPN) ,  TOYOFUKU M (Fukuoka Inst. Technol., Fukuoka, JPN) ,  OGI S (Kitakyushu National Coll. Technol., Kitakyushu, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 40  Issue： 4A  Page： 2511-2517  Publication year： Apr. 15, 2001 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *nucleation ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A0620247&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Reference (9)：

• 1) S. Yugo, T. Kanai and T. Muto: Appl. Phys. Lett. 58 (1991) 1036.
• 2) S. Barret, S. Saada, I. Dieguez and E. Bauer Grosse: J. Appl. Phys. 84 (1998) 1870.
• 3) X. Li, Y. Hayashi and S. Nishino: Thin Solid Films 308-309 (1997) 163.
• 4) S. T. Lee, Y. W. Lam, Z. Lin, Y. Chen and Q. Chen: Phys. Rev. B 55 (1997) 15937.
• 5) Q. Chen, Y. Chen, J. Yang and Z. Lin: Thin Solid Films 274 (1996) 160.

Terms in the title (4)： 低圧 ,  バイアス ,  促進 ,  核形成