Art

J-GLOBAL ID：200902160309081756   Reference number：97A0823449

Measurement of the Electron Energy Distribution in Asymmetric Radio-Frequency Plasmas with a Self-Compensating Langmuir Probe.

非対称高周波プラズマの電子エネルギー分布の自己補償Langmuirプローブを用いた測定

Author (3)： KUBO T (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  KAWATA H (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  MURATA K (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 36  Issue： 7B  Page： 4601-4604  Publication year： Jul. 1997 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *high frequency discharge ,...
Semi thesaurus term： pressure dependence ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=97A0823449&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=G0520B") }}

JST classification (2)： Plasma diagnostics  (BJ02090L) ,  Gas discharges  (BJ03020T)

Reference (10)：

• 1) M. J. Kushner: J. Appl. Phys. 53 (1982) 2939
• 2) V. A. Godyak and R. B. Piejak: Phys. Rev. Lett. 65 (1990) 996
• 3) V. A. Godyak and R. B. Piejak: J. Appl. Phys. 68 (1990) 3157
• 4) V. A. Godyak: Sov. Phys.-Tech. Phys. 16 (1972) 1073.
• 5) S. G. Ingram and N. St. Braithwaite: J. Phys. D 21 (1988) 1496

Terms in the title (6)： 非対称 ,  高周波プラズマ ,  電子エネルギー分布 ,  自己 ,  補償 ,  Langmuirプローブ