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J-GLOBAL ID：200902161391598075   Reference number：00A0692886

Preparation of DLC Thin Films by Plasma Polymerization and Their Dielectric Properties.

プラズマ重合によるDLC薄膜の調製とその誘電特性

Author (3)： IRIYAMA Y (Yamanashi Univ., Kofu, JPN) ,  HASEGAWA Y (Kinki Univ., Higashi-Hiroshima, JPN) ,  IHARA T (Kinki Univ., Higashi-Hiroshima, JPN)
Material： Journal of Photopolymer Science and Technology  (フォトポリマー懇話会誌)
Volume： 13  Issue： 1  Page： 39-46  Publication year： 2000 
JST Material Number： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *plasma polymerization ,...
Semi thesaurus term： バリア

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JST classification (3)： Radiation polymerization  (CG04060K) ,  Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Applications of plasma  (BJ02110K)

Substance index (1)： Methane

Reference (5)：

• 1). A. Lopetz, Jr. and P. C. Richardson, IEEE Trans.,BME-16 (1), 99 (1969).
• 2). Y. Iriyama, K. Nagase, Y. Hasegawa, and T.Ihara, J. Photopolym. Sci. Technol., 12, 39 (1999).
• 3). M. Yoshikawa and N. Ohtake, Zukai KisouGosei Daiyamondo, Ohmusha (1995). (Japanese)
• 4). Y. Osada, Teion Purazuma Zairyo Kagaku,Sangyo Tosho (1994). (Japanese)
• 5). B. Dischler, A. Bubenzer, P. Koidl, Solid StateCommun., 48, 105 (1983).

Terms in the title (4)： プラズマ重合 ,  DLC薄膜 ,  調製 ,  誘電特性