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J-GLOBAL ID：200902168935933293   Reference number：97A0286480

An Ultrafine Motion Table Using Piezoelectric Actuator for Ultraprecision Grinding.

超精密研削用圧電アクチュエータを用いる超微細運動テーブル

Author (4)： OTSUKA J (Shizuoka Inst. Sci. and Technol., Shizuoka) ,  KOSHIMIZU S (Shizuoka Inst. Sci. and Technol., Shizuoka) ,  HATA S (Tokyo Inst. Technol., Kanagawa) ,  SHIMOKOHBE A (Tokyo Inst. Technol., Kanagawa)
Material： International Journal of the Japan Society for Precision Engineering  (Int J Jpn Soc Precis Eng)
Volume： 30  Issue： 4  Page： 345-346  Publication year： Dec. 1996 
JST Material Number： Z0715A  ISSN： 0916-782X  Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Reference (3)：

• BIFANO, T. G. Ductileregime Grinding : A New Technology for Machining Brittle Materials. ASME J. Eng. Ind. 1991, 113, 184
• MIYASHITA, M. Ductile Mode Grinding Technology for Brittle Materials. J. Japan Soc. Prec. Eng. 1990, 56, 5, 782
• HATA, S. A Fine Motion Table Working Point Control. Proc. of The 71st JSME Spring Annual Meeting, Jpn. Soc. Mech. Eng. 1994, 710

Terms in the title (4)： 精密研削 ,  圧電アクチュエータ ,  超微細 ,  運動