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J-GLOBAL ID：200902169232852808   Reference number：98A0581394

Epitaxial growth of zinc oxide films by atmospheric chemical vapor deposition.

大気圧CVDによるZnO膜のヘテロエピタキシー

Author (4)： SATO MINORU (長岡技科大) ,  TANAKA NORIO (長岡技科大) ,  OSHIO SHIGEO (長岡技科大) ,  SAITO HIDETOSHI (長岡技科大)
Material： 日本セラミックス協会年会講演予稿集
Volume： 1998  Page： 497  Publication year： Mar. 1998 
JST Material Number： X0505A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： 大気圧 ,  CVD ,  ZnO ,  ヘテロエピタキシー