Art

J-GLOBAL ID：200902169252169926   Reference number：96A0671685

Microstructural evolution and preferred orientation change of radio-frequency-magnetron sputtered ZnO thin films.

高周波マグネトロンスパッタリングにより蒸着したZnO薄膜の微細構造発展と優先配向の変化

Author (6)： LEE Y E (Seoul National Univ., Seoul, KOR) ,  LEE J B (Seoul National Univ., Seoul, KOR) ,  KIM Y J (Kyonggi Univ., Suwon, KOR) ,  YANG H K (Korea Electronic Technol. Inst., Kyung Gi-Do, KOR) ,  PARK J C (Korea Electronic Technol. Inst., Kyung Gi-Do, KOR) ,  KIM H J (Seoul National Univ., Seoul, KOR)
Material： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science and Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films)
Volume： 14  Issue： 3 Pt 2  Page： 1943-1948  Publication year： May. 1996 
JST Material Number： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： zinc oxide ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=96A0671685&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0789B") }}

JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (6)： 高周波マグネトロンスパッタリング ,  蒸着 ,  ZnO薄膜 ,  微細構造 ,  発展 ,  優先配向