Art

J-GLOBAL ID：200902169273813906   Reference number：02A0761489

Semiconductor Electronics. Characterization of Semiconductor Materials at Sub-Micron Scale Using Scanning Capacitance Microscopy.

半導体エレクトロニクス 走査型容量顕微鏡による半導体材料のサブミクロン評価

Author (4)： UCHIHASHI TAKAYUKI (姫路工大 工) ,  ISHIZUKA YOSHIMORI (姫路工大 工) ,  YOSHIDA HARUHIKO (姫路工大 工) ,  KISHINO SEIGO (姫路工大 工)
Material： 材料  (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
Volume： 51  Issue： 9  Page： 995-998  Publication year： Sep. 15, 2002 
JST Material Number： F0385A  ISSN： 0514-5163  CODEN： ZARYA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： atomic force microscope ,...
Semi thesaurus term： 走査型容量顕微鏡

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=02A0761489&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0385A") }}

JST classification (2)： Electron and ion microscopes  (BD02050B) ,  Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G)

Reference (7)：

• GINNING, G. Rhys. Rev. Lett. 1982, 49, 57
• BINNING, G. Rhys. Rev. Lett. 1986, 56, 939
• WILLIAMS, C. C. Appl. Phys. Lett. 1989, 55, 1662
• MATELY, J. R. J. Appl. Phys. 1985, 57, 1437
• CHO, Y. Rev. Sci. Instrum. 1996, 67, 2297

Terms in the title (5)： エレクトロニクス ,  走査型容量顕微鏡 ,  半導体材料 ,  サブ ,  評価