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J-GLOBAL ID：200902169273813906   Reference number：02A0761489

Semiconductor Electronics. Characterization of Semiconductor Materials at Sub-Micron Scale Using Scanning Capacitance Microscopy.

半導体エレクトロニクス 走査型容量顕微鏡による半導体材料のサブミクロン評価

Author (4)： UCHIHASHI TAKAYUKI (姫路工大 工) ,  ISHIZUKA YOSHIMORI (姫路工大 工) ,  YOSHIDA HARUHIKO (姫路工大 工) ,  KISHINO SEIGO (姫路工大 工)
Material： 材料  (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
Volume： 51  Issue： 9  Page： 995-998  Publication year： Sep. 15, 2002 
JST Material Number： F0385A  ISSN： 0514-5163  CODEN： ZARYA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： atomic force microscope ,...

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JST classification (2)： Electron and ion microscopes  (BD02050B) ,  Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G)

Reference (7)：

• GINNING, G. Rhys. Rev. Lett. 1982, 49, 57
• BINNING, G. Rhys. Rev. Lett. 1986, 56, 939
• WILLIAMS, C. C. Appl. Phys. Lett. 1989, 55, 1662
• MATELY, J. R. J. Appl. Phys. 1985, 57, 1437
• CHO, Y. Rev. Sci. Instrum. 1996, 67, 2297

Terms in the title (5)： エレクトロニクス ,  走査型容量顕微鏡 ,  半導体材料 ,  サブ ,  評価