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J-GLOBAL ID：200902170073968075   Reference number：98A0506410

First Principle Calculation of Interface States at Si/SiO2 Interface by Density Functional Theory Method.

Si/SiO₂界面に存在する界面準位の密度汎関数法を用いた第一原理理論計算

Author (4)： KUBOTA TOMOHIRO (大阪大) ,  NAKATO YOSHINORI (大阪大) ,  NISHIOKA YASUKI (テキサス・インスツルメンツ筑波研究開発セ) ,  KOBAYASHI HIKARU (大阪大)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 45th  Issue： 2  Page： 777  Publication year： Mar. 1998 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (7)： Si ,  SiO2 ,  界面 ,  界面準位 ,  密度汎関数法 ,  第一原理 ,  理論計算