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J-GLOBAL ID：200902172725031383   Reference number：01A0212534

Si Barrier Metal Growth by Hybrid Radical Beam-Pulsed Laser Deposition of TiN.

TiNのハイブリッドラジカルビーム-パルスレーザ蒸着によるSiのバリアメタル成長

Author (5)： OBATA K (RIKEN (Inst. Physical and Chemical Res.), Saitama, JPN) ,  SUGIOKA K (RIKEN (Inst. Physical and Chemical Res.), Saitama, JPN) ,  TOYODA K (Sci. Univ. Tokyo, Chiba, JPN) ,  TAKAI H (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN) ,  MIDORIKAWA K (RIKEN (Inst. Physical and Chemical Res.), Saitama, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 39  Issue： 12B  Page： 7031-7034  Publication year： Dec. 30, 2000 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *titanium compound ,...
Semi thesaurus term： バリアメタル

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JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (14)：

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• 4) S. Soube, T. Yamauchi, H. Suzuki, S. Mukainakano, O. Takenaka and T. Hattori: Appl. Surf. Sci. 117/118 (1997) 308.
• 5) B. O. Johansson, J. E. Sundgren and J. E. Greene: J. Vac. Sci. & Technol. <B>A3</B> (1985) 303.

Terms in the title (5)： TiN ,  パルスレーザ蒸着 ,  Si ,  バリアメタル ,  成長