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J-GLOBAL ID：200902176971108552   Reference number：98A0544662

Study on Brittle-Ductile Transition of Monocrystal Silicon at High Temperature and its Application to Ductile Mode Cutting.

高温における単結晶シリコンの脆性-延性遷移と切削加工への応用

Author (4)： MORITA NOBORU (千葉大 工) ,  YOSHIDA YOSHITARO (千葉大 工) ,  KOBAYASHI EIJI (千葉大 大学院) ,  NAGATA NORIO (千葉大 大学院)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 64  Issue： 621  Page： 1854-1859  Publication year： May. 1998 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *silicon ,...
Semi thesaurus term： plastic flow(rheology)

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JST classification (1)： Manufacturing of ceramics and ceramic whiteware  (YC03020V)

Reference (14)：

• BLAKE, P. N. Ductile-Regime Machining of Germanium and Silicon. J. Americal Ceramic Society. 1990, 73-4, 949-957
• SHIBATA, T. Transmission Electron Microscopy Characterization of Ductile-Regime Turned Single-Crystal Si Surface. Proc. 8th Int. Precision Eng. Seminar. 1995, 290-293
• 呉東権. 単結晶シリコンの切削加工に関する研究(第1報). 機論C. 1993, 59-557, C, 283-288
• 柴田隆行. 機械加工面の微視的構造. 1995年精密工学会秋季大会学術講演会「材料除去および仕上げ面創成におけるぜい性延性遷移-現. 1995, 49-55
• BLACKLEY, W. S. J. American Ceramic Society. 1990, 73-10, 3113-3121

Terms in the title (4)： 単結晶シリコン ,  脆性-延性遷移 ,  切削加工 ,  応用