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J-GLOBAL ID：200902181330876057   Reference number：03A0011659

Cleaning of Glass Disk in Oxygen Plasma by Using Compact Electron-Beam-Excited Plasma Source.

小形電子ビーム励起プラズマ源を用いた酸素プラズマ中でのガラスディスクの洗浄

Author (5)： TADA S (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  ITO M (Wakayama Univ., Wakayama, JPN) ,  HAMAGAKI M (Inst. Physical and Chemical Res. (RIKEN), Saitama, JPN) ,  HORI M (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  GOTO T (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 41  Issue： 11A  Page： 6553-6556  Publication year： Nov. 15, 2002 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *information medium ,...
Semi thesaurus term： 電子ビーム励起プラズマ

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JST classification (3)： Applications of plasma  (BJ02110K) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Electronic recording,magnetic recording,optical recording  (NC06020F)

Reference (10)：

• 1) E. S. Murdock, R. F. Simmons and R. Davidson: IEEE Trans. Magn. 28 (1992) 3078.
• 2) L. Holland: Wetting Glass Surfaces (Wiley, New York,) Chap. 6.
• 3) L. Holland and S. M. Ojha: Vacuum 26 (1976) 53.
• 4) K. Takechi and M. A. Lieverman: J. Appl. Phys. 89 (2001) 5318.
• 5) D. L. Flamm: Solid State Technol. 35 (1992) No. 8, 37.

Terms in the title (6)： 小形 ,  プラズマ源 ,  酸素プラズマ ,  ガラス ,  ディスク ,  洗浄