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J-GLOBAL ID：200902183246076714   Reference number：96A0474617

Fluorine-contained films with high water-repellency and transparency prepared by RF plasma-enhanced CVD.

RFプラズマCVDで作製した高はっ水性と透明性をもつふっ素を含む膜

Author (4)： HOZUMI A (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  KAKINOKI N (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  ASAI Y (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TAKAI O (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
Material： Journal of Materials Science Letters  (J Mater Sci Lett)
Volume： 15  Issue： 8  Page： 675-677  Publication year： Apr. 15, 1996 
JST Material Number： D0919B  ISSN： 0261-8028  CODEN： JMTSAS  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： plasma CVD ,...

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JST classification (2)： Thin films of organic compounds  (BK14070L) ,  Other properties of polymer solids  (CG02025L)

Terms in the title (6)： RFプラズマ ,  CVD ,  作製 ,  はっ水性 ,  透明性 ,  ふっ素