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J-GLOBAL ID：200902184107414350   Reference number：95A0315824

A New Apparatus for Measuring Particle Sizes of the Order of Nanometer. (2nd Report). Evaluation of Measuring System by using Standard Particles.

ナノメートルオーダーの粒径を測定する新装置 (第2報) 標準粒子を用いる計測システムの評価

Author (8)： AN H (Osaka Electrocomunication Univ., Osaka) ,  MORI Y (Osaka Univ., Osaka) ,  KATAOKA T (Osaka Univ., Osaka) ,  ENDO K (Osaka Univ., Osaka) ,  INAGAKI K (Mikaukuto Co., Ltd., Osaka) ,  YAMAMURA K (Osaka Univ., Osaka) ,  YAMAUCHI K (Osaka Univ., Osaka) ,  FUKUIKE T (Osaka Electrocomunication Univ., Osaka)
Material： International Journal of the Japan Society for Precision Engineering  (Int J Jpn Soc Precis Eng)
Volume： 28  Issue： 4  Page： 356-361  Publication year： Dec. 1994 
JST Material Number： Z0715A  ISSN： 0916-782X  Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： ナノメートルオーダー ,  粒径 ,  標準 ,  計測システム ,  評価