Art

J-GLOBAL ID：200902184750871963   Reference number：99A0948308

Fabrication of ohmic contacts to buried diamond layers using Pt layer in the diamond chemical-vapor-deposition process.

ダイヤモンドの化学気相蒸着プロセス中のPt層を用いる埋め込みダイヤモンド層へのOhm接触の作製

Author (2)： WANG C (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  ITO T (Osaka Univ., Osaka, JPN)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 75  Issue： 13  Page： 1920-1922  Publication year： Sep. 27, 1999 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *Diamond ,...

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JST classification (1)： Semiconductor-metal contacts  (BM03084G)

Terms in the title (9)： ダイヤモンド ,  化学 ,  気相蒸着 ,  プロセス ,  Pt ,  埋め込み ,  ダイヤモンド層 ,  Ohm接触 ,  作製