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J-GLOBAL ID：200902185429969249   Reference number：00A0535729

Large-diameter microwave plasma source excited by azimuthally symmetric surface waves.

方位対称表面波励起による大直径マイクロ波プラズマ源

Author (6)： TUDA M (Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN) ,  ONO K (Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN) ,  OOTERA H (Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN) ,  TSUCHIHASHI M (Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN) ,  HANAZAKI M (Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN) ,  KOMEMURA T (Mitsubishi Electric Corp., Hyogo, JPN)
Material： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science and Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films)
Volume： 18  Issue： 3  Page： 840-848  Publication year： May. 2000 
JST Material Number： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： microwave discharge ,...

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JST classification (2)： Plasma devices  (BJ02082I) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： 方位 ,  対称 ,  表面波励起 ,  大直径 ,  マイクロ波プラズマ