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J-GLOBAL ID：200902188678380750   Reference number：99A0141324

Application of nanofabrication technology to vacuum microelectronics.

ナノメートル加工の応用 (1) 真空マイクロエレクトロニクスへの応用

Author (3)： ITO JUNJI (電総研) ,  KANEMARU SEIGO (電総研) ,  MATSUKAWA TAKASHI (電総研)
Material： 応用物理  (JSAP International)
Volume： 67  Issue： 12  Page： 1390-1394  Publication year： Dec. 1998 
JST Material Number： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *nanometer process ,...

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JST classification (2)： Other solid-state devices  (NC03150A) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (23)：

• 1) J. Itoh: Appl. Surf. Sci. 111, 194 (1997) .
• 2) 伊藤順司:静電気学会誌 21, 119(1997).
• 3) S. Itoh, T. Watanabe, K. Ohtsu, M. Yokoyama and M. Taniguchi: Jpn. J. Appl. Phys. 32, 3955 (1993).
• 4) S. Itoh, T. Watanabe, K. Ohtsu, M. Taniguchi, S. Uzawa and N. Nishimur-a: J. Vac. Sci. Technol. B 13, 487(1995).
• 5) 伊藤順司,金丸正剛:表面科学 17, 718 (1996).

Terms in the title (2)： 応用 ,  真空マイクロエレクトロニクス