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J-GLOBAL ID：200902191648003317   Reference number：98A0598983

Ion-beam and plasma processing techniques for thin-film synthesis of superhard materials in boron-carbon-nitrogen system.

イオン・プラズマプロセスによるほう素,炭素,窒素系超硬質薄膜の合成

Author (2)： SETSUHARA YUICHI (大阪大 接合科研) ,  MIYAKE SHOJI (大阪大 接合科研)
Material： 応用物理  (JSAP International)
Volume： 67  Issue： 6  Page： 659-663  Publication year： Jun. 1998 
JST Material Number： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *nitride ,...

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JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Ceramic coating to nonmetallic materials  (YC02040K)

Reference (52)：

• BUNDY, F. P. Nature. 1955, 176, 51
• WENTROF, R. H. J.Chem.Phys. 1957, 26, 956
• SPITSYN, B. V. J.Crystal Growth. 1981, 52, 266
• MATSUMOTO, S. J.Mat.Sci. 1982, 17, 3106
• INAGAWA, K. J.Vac.Sci.Technol. 1987, A5, 2696

Terms in the title (6)： イオン ,  プラズマプロセス ,  ほう素 ,  炭素 ,  窒素 ,  硬質薄膜