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J-GLOBAL ID：200902193602845952   Reference number：02A0894650

Development of Electrochemical Machining System in Ultrapure Water and Application to Planarization Machining Process.

超純水のみによる電気化学的加工システムの開発と平坦化加工プロセスヘの応用

Author (6)： MORI YUZO (大阪大 大学院工学研究科) ,  GOTO HIDEKAZU (大阪大 大学院工学研究科) ,  HIROSE KIKUJI (大阪大 大学院工学研究科) ,  TOUMA YASUSHI (荏原総合研) ,  KOBATA ITSUKI (荏原製作所) ,  MORITA KEN'ICHI (大阪大 大学院工学研究科)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 68  Issue： 11  Page： 1486-1491  Publication year： Nov. 05, 2002 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ultrapure water ,...
Semi thesaurus term： electrochemical machining

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JST classification (2)： Special machining  (QC04000Y) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (13)：

• 森勇藏. 超純水中の水酸基による加工方法. 特開平 10-58236
• MORI, Y. Development of Ultra-Precision and Ultra-Clean Electro-Chemical Processing Method Using Hydroxyl Ion in Ultrapure Water. Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 1999, 237
• 森勇藏. 超純水のみによる電気化学的加工法の研究-触媒反応を利用した超純水中のイオン密度の増加方法-. 精密工学会誌. 2001, 67, 6, 932
• 森勇藏. 電解加工方法及び装置. 特開 2001-064799
• 森勇藏. 超純水のみによる電気化学的加工法の研究-陰極表面における加工現象-. 精密工学会誌. 2002, 68, 9, 1241

Terms in the title (6)： 純水 ,  電気化学的加工 ,  開発 ,  平坦化加工 ,  プロセス ,  応用