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J-GLOBAL ID：200902197188372449   Reference number：95A0093497

Sputtering rate studies on different Mo-Si targets.

種々のMo-Siターゲットに関するスパッタリング速度の研究

Author (4)： UTSUNO F (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  MORI Y (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HAYASHI A (Asahi Glass Co., Ltd., Kanagawa-ken, JPN) ,  YASUI I (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
Material： Journal of Non-Crystalline Solids  (J Non-Cryst Solid)
Volume： 178  Page： 250-254  Publication year： Nov. 1994 
JST Material Number： D0642A  ISSN： 0022-3093  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： soda-lime glass ,...

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JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Manufacturing of glass  (YC02020O)

Terms in the title (5)： Mo ,  Si ,  ターゲット ,  スパッタリング ,  研究