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J-GLOBAL ID：200902199383548694   Reference number：02A0734395

Electron Energy-Loss Spectroscopy of Carbon Films Prepared by Electron-Cyclotron-Resonance Plasma Sputtering.

電子-サイクロトロン共鳴プラズマスパッタリングにより作製した炭素薄膜の電子エネルギー損失分光法

Author (4)： MUROOKA Y (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TANAKA N (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  HIRONO S (NTT AFTY Corp., Tokyo, JPN) ,  HIBINO M (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
Material： Materials Transactions  (Mater Trans)
Volume： 43  Issue： 8  Page： 2092-2096  Publication year： Aug. 20, 2002 
JST Material Number： G0668A  ISSN： 1345-9678  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： electron cyclotron resonance plasma ,...

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JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Reference (12)：

• UMEMURA, S. Philos. Mag. A. 1996, 74, 1143-1157
• HIRONO, S. Appl. Phys. Lett. 2002, 80, 425-427
• EGERTON, R. F. Electron energy-loss spectroscopy in the electron microscope. 1996, 154-165
• BERGER, S. D. Philos. Mag. Lett. 1988, 57, 285-290
• HIRONO, S. IEEE Trans. Magn. 1998, 34, 1729-1731

Terms in the title (6)： 電子 ,  サイクロトロン共鳴 ,  プラズマスパッタリング ,  作製 ,  炭素薄膜 ,  電子エネルギー損失分光法