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J-GLOBAL ID：200902200561842648   Reference number：08A1260337

Bending Test of Polysilicon Thin Microelements and Crystal Orientation Analysis

ポリシリコンの細い微小素子の曲げ試験と結晶配向解析

Author (4)： AZUMA Kentaro (Doshisha Univ., Kyoto, JPN) ,  TANAKA Kazuto (Doshisha Univ., Kyoto, JPN) ,  KATAYAMA Tsutao (Doshisha Univ., Kyoto, JPN) ,  MINOSHIMA Kohji (Osaka Univ., Osaka, JPN)
Material： Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems  (Proceedings of the Sensor Symposium)
Volume： 25th  Page： 775-776  Publication year： Oct. 22, 2008 
JST Material Number： X0768A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： polysilicon ,  bending test(bending) ,  crystal orientation ,  electron diffraction ,  *solid state device ,  *micromachining ,  *mechanical property
Semi thesaurus term： EBSD ,  mechanical property ,  crystal orientation ,  *microdevice

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Mechanical properties of solids in general  (BL01021C)

Terms in the title (5)： ポリシリコン ,  微小素子 ,  曲げ試験 ,  結晶配向 ,  解析