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J-GLOBAL ID：200902202290963897   Reference number：03A0421718

A comparison of hydrogen analysis techniques for DLC films prepared by PBII method

PBII法により作製したDLC膜の水素量解析法の検討

Author (5)： YASUI HARUYUKI (金沢大 大学院) ,  AWAZU KAORU (石川県工試) ,  NARAMOTO HIROSHI (原研) ,  HIROSE YUKIO (金沢大) ,  SASAKI TOSHIHIKO (金沢大)
Material： 日本材料強度学会誌  (Journal of the Japanese Society for Strength and Fracture of Materials)
Volume： 37  Issue： 2  Page： 33-39  Publication year： Jun. 02, 2003 
JST Material Number： G0738A  ISSN： 0286-4010  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *hydrogen ,...
Semi thesaurus term： glow discharge mass spectrometry

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JST classification (1)： Thin films in general  (BK14010X)

Substance index (2)： Toluene ,  Benzene

Reference (14)：

• GRILL, A. J. Mater. Res. 1990, 5, 2531
• KAMO, M. J. Cryst. Growth. 1983, 62, 642
• BANKS, B. A. J. Vac. Sci. Technol. 1982, 21, 807
• 舟田義則. 先端加工. 1994, 13, 83
• 齋藤秀俊. NEW DIAMOND. 1999, 54, 38

Terms in the title (5)： PBII法 ,  作製 ,  DLC膜 ,  水素 ,  解析法