Art

J-GLOBAL ID：200902203267765650   Reference number：06A0668378

Characteristic of a Self-excited Micro Cantilever and a Self-detection Self-actuation-type Micro Cantilever for AFM

マイクロカンチレバの自励発振特性と自己検知自己駆動型AFMマイクロカンチレバの実現に向けた検討

Author (4)： HAYASHI KEIICHI (筑波大) ,  KOBAYASHI TAKESHI (産業技術総合研) ,  KURODA MASAHARU (産業技術総合研) ,  YABUNO HIROSHI (筑波大)
Material： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
Volume： 106  Issue： 135(NLP2006 22-33)  Page： 41-45  Publication year： Jun. 26, 2006 
JST Material Number： S0532B  ISSN： 0913-5685  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *cantilever beam ,...
Semi thesaurus term： cantilever

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JST classification (3)： Optical instruments and techniques in general  (BD07010S) ,  Microscopic methods of living organisms  (EA03050C) ,  Optical microscopes,telescopes  (QF05050R)

Reference (4)：

• OKAJIMA, T. Self-oscillation technique for AFM in liquids. Applied Surface Science. 2003, 210, 68-72
• KANEKO, H. Nonlinear Analysis of a Self-excited Cantilever Beam. Proceedings of DETC2005 (ASME). 2005
• FULLER, C. R. Active Control of Vibration. 1996
• YABUNO, H. Nonlinear analysis of a parametrically excited cantilever beam. JSME International Journal, C. 1998, 41, 3, 555-562

Terms in the title (5)： マイクロカンチレバ ,  自励 ,  発振特性 ,  自己 ,  AFM