Art

J-GLOBAL ID：200902212132497647   Reference number：08A0919762

Large area SiH₄/H₂ VHF plasma produced at high pressure using multi-rod electrode

マルチロッド電極を使用して高い圧力で作製した大面積のSiH₄/H₂のVHFプラズマ

Author (6)： YAMAUCHI Yasuhiro (Nagasaki Shipyard & Machinery Works, Mitsubishi Heavy Industries Ltd., Isahaya, Nagasaki, 854-0065 Japan) ,  TAKEUCHI Yoshiaki (Nagasaki Res. & Dev. Center, Mitsubishi Heavy Industries Ltd., Fukahori, Nagasaki, 851-0392 Japan) ,  TAKATSUKA Hiromu (Nagasaki Shipyard & Machinery Works, Mitsubishi Heavy Industries Ltd., Isahaya, Nagasaki, 854-0065 Japan) ,  KAI Yuichi (Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu Univ., Kasuga, Fukuoka 816-8580 Japan) ,  MUTA Hiroshi (Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu Univ., Kasuga, Fukuoka 816-8580 Japan) ,  KAWAI Yoshinobu (Res. Inst. for Applied Mechanics, Kyushu Univ., Kasuga, Fukuoka 816-8580 Japan)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 202  Issue： 22-23  Page： 5668-5671  Publication year： Aug. 30, 2008 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： VHF ,  *plasma ,  *high frequency discharge ,  discharging gap ,  *silane ,  hydrogen ,  electrode ,  *pressure effect ,  Langmuir probe ,  *ion current ,  saturation ,  current density ,  *electron temperature ,  plasma CVD ,  *plasma diagnostics
Semi thesaurus term： Langmuir probe ,  pressure dependence

JST classification (1)： Plasma diagnostics  (BJ02090L)

Terms in the title (7)： マルチ ,  ロッド ,  作製 ,  大面積 ,  SiH4 ,  H2 ,  VHFプラズマ