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J-GLOBAL ID：200902214089745090   Reference number：08A0790861

Nanometer-Scale Manipulation and Ultrasonic Cutting Using an Atomic Force Microscope Controlled by a Haptic Device as a Human Interface

ヒューマンインタフェイスとしての触覚装置で制御した原子間力顕微鏡を用いたナノメータ尺度の操作と超音波切開

Author (6)： IWATA Futoshi (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  OHARA Kouhei (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  ISHIZU Yuichi (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  SASAKI Akira (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  AOYAMA Hisayuki (Univ. Electro-Communications, Tokyo, JPN) ,  USHIKI Tatsuo (Niigata Univ., Niigata, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 47  Issue： 7 Issue 3  Page： 6181-6185  Publication year： Jul. 25, 2008 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： human interface ,  tactile sense ,  *atomic force microscope ,  nanostructure ,  microprobe ,  crystal resonator ,  ultrasonic application ,  *ultrasonic machining ,  *nanometer process

JST classification (1)： Other applications of acoustics  (BB03100I)

Reference (14)：

• X. Jin and W. N. Unertl: Appl. Phys. Lett.61(1992)657.
• T. Ogino, S. Nishimura, and J. Shirakashi: Jpn. J. Appl. Phys.46(2007)6908.
• B. Klehn and U. Kunze: J. Appl. Phys.85(1999)3897.
• L. Santinacci, T. Djenizian, and P. Schmuki: Appl. Phys. Lett.79(2001)1882.
• F. Iwata, T. Matsumoto, and A. Sasaki: Nanotechnology 11(2000)10.

Terms in the title (7)： ヒューマンインタフェイス ,  触覚 ,  原子間力顕微鏡 ,  ナノメータ ,  尺度 ,  超音波 ,  切開