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J-GLOBAL ID：200902218120841634   Reference number：07A0205845

Control of an Air Spring Type Anti-Vibration Apparatus Using Differential Signal of Relative Position

相対位置の微分信号を用いた空圧式除振装置の制御

Author (4)： WAKUI SHINJI (東京農工大 大学院共生科学技術研究院) ,  HASEGAWA YUZO (東京農工大 大学院) ,  FUJIWARA MASAKI (東京農工大 大学院) ,  TAKAHASHI MASATO (ニコン)
Material： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
Volume： 73  Issue： 726  Page： 453-460  Publication year： Feb. 25, 2007 
JST Material Number： F0045B  ISSN： 0387-5024  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： relative motion ,...

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JST classification (2)： Structural dynamics  (HD02000E) ,  Propagation of vibrations  (BB02040K)

Reference (6)：

• Canon. Active anti-vibration apparatus. Patent 3286201. 2002
• Canon. Exposure apparatus. Open patent 2001-044109. 2001
• Canon. Active anti-vibration apparatus and exposure apparatus. EP1124078A2. 2001
• WAKUI, S. Wide Frequency Band of Pressure Feedback Using Positive Feedback for an Air Spring Type Anti-Vibration Apparatus. Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, C. 2006, 72, 719, 2219
• TAGAWA, Y. Study of 6-DOF Microvibration Control Using Feedforward Control. Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers, C. 1997, 63, 608, 1081

Terms in the title (4)： 相対位置 ,  微分 ,  空圧 ,  除振装置