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J-GLOBAL ID：200902221372206690   Reference number：05A0996498

Fabrication of Optical Micro Scanner Driven by PZT Actuators

PZTアクチュエータで駆動する光マイクロスキャナの作成

Author (3)： KOBAYASHI Takeshi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  TSAUR Jiunnjye (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN) ,  MAEDA Ryutaro (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 44  Issue： 9B  Page： 7078-7082  Publication year： Sep. 30, 2005 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： optical scanning ,...
Semi thesaurus term： *PZT

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JST classification (2)： Other optical devices  (BD06060O) ,  Piezoelectric devices  (NC03110I)

Reference (14)：

• 1) K. Petroz, E. Ollier, H. Grateau and P. Mottier: Sens. Actuat. A 73 (1999) 117.
• 2) J. M. Zara and S. W. Smith: Sens. Actuat. A 102 (2002) 176.
• 3) H. Miyajima, N. Asaoka, M. Arima, U. Minamoto, K. Murakami, K. Tokuda and K. Matsumoto: J. Microelectromech. Syst. 10 (2001) 418.
• 4) S. Ahn and Y. Kim: J. Micromech. Microeng. 14 (2004) 1455.
• 5) J. Tsaur, Z. J. Wang, L. Zhang, M. Ichiki, J. W. Wan and R. Maeda: Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002) 6664.

Terms in the title (4)： PZT ,  アクチュエータ ,  マイクロ ,  スキャナ