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J-GLOBAL ID：200902224822152829   Reference number：03A0397852

Carbon nanotube growth by PECVD: a review

PECVDによるカーボンナノチューブの成長 レビュー

Author (4)： MEYYAPPAN M (NASA Ames Res. Center, CA, USA) ,  DELZEIT L (NASA Ames Res. Center, CA, USA) ,  CASSELL A (NASA Ames Res. Center, CA, USA) ,  HASH D (NASA Ames Res. Center, CA, USA)
Material： Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Sci Technol)
Volume： 12  Issue： 2  Page： 205-216  Publication year： May. 2003 
JST Material Number： W0479A  ISSN： 0963-0252  CODEN： PSTEEU  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *nanotube ,...

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JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (4)： PECVD ,  カーボンナノチューブ ,  成長 ,  レビュー