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J-GLOBAL ID：200902231257345940   Reference number：09A0283188

Production of High Lubricious Titanium Nitride-Molybdenum Disulfide Composite Thin Films

高潤滑性窒化チタン-二硫化モリブデン複合膜の創成

Author (2)： KOZAKI MASAO (東海大 工) ,  SUZUKI KEINOSUKE (東海大 大学院)
Material： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
Volume： 54  Issue： 3  Page： 201-208  Publication year： Mar. 15, 2009 
JST Material Number： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *composite film ,  *molybdenum sulfide ,  *titanium compound ,  nitride ,  thin film ,  lubricating film ,  magnetron sputtering ,  friction ,  nanoindentation ,  hardness ,  lubrication ,  adhesion force ,  friction coefficient ,  heat resistance ,  *wear characteristics ,  adhesion property ,  abrasion resistance
Semi thesaurus term： lubricating ,  *titanium nitride ,  *friction property ,  *molybdenum disulfide

JST classification (2)： Lubrication in general  (QB02010S) ,  Vapor plating  (WC08022K)

Reference (21)：

• 松室昭仁. ダイナミックイオンミキシング法によるTi-N系薄膜の形成とその機械的性質. 日本機械学会論文集 (A編). 1998, 64, 618, 154
• (社) 応用物理学会薄膜・表面物理分科会編. 薄膜作製ハンドブック. 1991, 222
• 佐々木道子. Ti系薄膜の高真空中における摩擦・摩耗特性. 真空. 2001, 44, 3, 302
• NAKAMURA, I. Surface Modification of TiN Films by Nitrogen Ion Beam Irradiation in Ethylene Gas Atmosphere. Vacuum. 2004, 74, 659
• 鈴木秀人. DLCの成膜技術. 2003, 10

Terms in the title (5)： 潤滑性 ,  窒化チタン ,  二硫化モリブデン ,  複合膜 ,  創成